طراحی و ساخت سیستم pa-ltcvd برای کاهش دمای لایه نشانی و آنالیز نتایج توسط ftir
پایان نامه
- وزارت علوم، تحقیقات و فناوری - دانشگاه قم - دانشکده علوم
- نویسنده زهرا حضوربخش
- استاد راهنما سیروس راستانی
- تعداد صفحات: ۱۵ صفحه ی اول
- سال انتشار 1390
چکیده
لایه های اکسیدی به روشی جدید در محدوده دمایی بالاتر از 140 درجه سانتیگراد و فشارهای 4 الی 20 تور در نسبت های مختلف گازی o2/sih4 تهیه شده اند که دارای نرخ لایه نشانی بین 0 -500 آنگسترم در دقیقه و نرخ لایه برداری بین 50-110 آنگسترم در ثانیه و میدان های شکست از مرتبه مگاولت بر سانتیمتر بوده که از لحاظ کیفیت بسیار نزدیک به لایه های اکسید حرارتی می باشند. آنالیز لایه های اکسیدی تهیه شده به وسیله ft-ir نشان می دهد که این لایه ها دارای خواص جذبی شبیه به sio2 می باشند و پیک های باندهای کششی و خمشی در cm-1 1078 و cm-1 820 کاملا مشهود می باشند. مقاومت لایه های تهیه شده در مقابل اسیدhf : h2o 1 به 10 نرخ لایه برداری 50-110 آنگسترم در ثانیه می باشد.
منابع مشابه
ساخت حسگر پارچه‌ای سیگنال قلب توسط چاپ و لایه نشانی فلز مس روی پارچه پلی‌استر
In the last decade, a significant progress has been made in the wearable medical devices. Scientists are extensively involved in the design of the flexible instruments equipped with garments to fulfill the daily needs and requirements. The fulfillment of this demand particularly needs a conductive fabric substrate with a high level of homogeneity, and the lowest barrier against electrical curre...
متن کاملساخت چشمه پلاسمای کاتد داغ برای لایه نشانی به روش اسپاترینگ توسط پرتو یون
در این پژوهش یک نمونه چشمه پلاسمای کاتد داغ برای یک چشمه پرتو یون پهن به قطر 5 سانتیمتر طراحی و ساخته شد. این چشمه یون قابل استفاده در لایه نشانی به روش کندوپاش است. وضعیت تشکیل پلاسما در خلأ بالا (محدوه 3-10 تا 4-10میلی بار) و با اعمال میدان مغناطیسی توسط مجموعه آهنرباهای دائمی مورد مطالعه قرار گرفت. تأثیر پارامترهای کنترلی مختلف مانند فشار کار، پتانسیل تخلیه الکتریکی و جریان چشمه الکترون (رشت...
متن کاملمقایسه روش‌های فیزیکی لایه نشانی کندوپاش و لایه نشانی یونی برای بررسی توزیع هیدروژن در هدف‌های هیدروژنی
In this paper, selection of proper method for titanium coating on copper substrate is studied to construct nuclear targets for neutron production in particle accelerators. In order to construct such targets, it is necessary to deposit, through the coating methods, the proper coating of titanium on copper. Among different coating methods, ion plating and sputtering, due to the high coating yield...
متن کاملطراحی و ساخت فاصله‌سنج نیوماتیک برای سیستم خودکانون لیزر
در این نوشتار طراحی و آزمایش دستگاه تشخیص فاصله به‌منظور استفاده در سیستم خودکانون لیتوگرافی شرح داده می‌شود. این ریزسنج نیوماتیک، با توجه به فشار گاز درون نازلِ سرتخت که در مقابل صفحه قرار می‌گیرد، فاصله را اندازه‌گیری می‌کند. بدین منظور از مدار تفاضلی شامل یک مسیر مبنا و مسیر اصلی گاز استفاده شده و روابط حاکم بر اجزای آن شناسایی می‌شود. دستگاه معادلات متشکل از این روابط به روش محاسباتی حل می‌ش...
متن کاملمدلسازی و آنالیز اثر پوشش سطوح معابر بر دمای فضاهای باز شهری تفهم طراحی و نتایج از پروژۀ سهیل
مطالعۀ حاضر به ارزیابی آثار سه مادۀ آسفالت، بتن سیمانی و آجر توپر در کف‌سازی سطوح معابر شهری بر شرایط میکرو اقلیم فضاهای فعالیت به‌ویژه دمای محیطی حاکم بر آنها اختصاص دارد. هدف بهبود شرایط آسایش حرارتی و کاهش شدت جزیرۀ گرمایی در ملاحظات منطقه‌ای است. تحقیق روی سایت سهیل واقع در شهر تهران با سنجش آثار مواد به‌کارگرفته‌شده در پوشش معابر آن از روش شبیه‌سازی در مدل سه‌بعدی ENVI_met® و در تیرماه انج...
متن کامللایه نشانی sio2 با کمک فشار و استخراج مدل و آنالیز استوکیومتری نتایج بوسیله rbs
برای بخش عایق لایه های نازک معمولا از دی اکسید سیلیسیوم استفاده میکنندکه این اکسید از ترکیب سیلان و اکسیژن است. درنتیجه برای یک لایه با کیفیت ابتدا باید مکانیزم ترکیب سیلان با اکسیژن بدست بیاید. سپس رابطه فشار و دما با این مکانیزم و بدست آوردن یک مدل برای این لایه نشانی. درنهایت هم این نتایج بوسیله پراکندگی بازگشتی رادرفورد مورد آنالیز قرار گرفت تا کیفیت نهایی انها از نظر استوکیومتری مورد بررسی...
منابع من
با ذخیره ی این منبع در منابع من، دسترسی به آن را برای استفاده های بعدی آسان تر کنید
ذخیره در منابع من قبلا به منابع من ذحیره شده{@ msg_add @}
نوع سند: پایان نامه
وزارت علوم، تحقیقات و فناوری - دانشگاه قم - دانشکده علوم
میزبانی شده توسط پلتفرم ابری doprax.com
copyright © 2015-2023